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          快速退火爐

          參考價面議
          具體成交價以合同協議為準
          • 公司名稱河南成儀設備科技有限公司
          • 品       牌
          • 型       號
          • 所  在  地鄭州市
          • 廠商性質其他
          • 更新時間2022/8/1 12:26:23
          • 訪問次數377
          產品標簽:

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          河南成儀設備科技有限公司,是一家專注于、高校、研究所等實驗室電爐和工業(yè)生產用爐的研發(fā)和生產型企業(yè)。 2009年開始生產高??蒲杏秒姞t和檢測電爐; 2013年立項工業(yè)連續(xù)生產用爐項目; 2014年成立“河南成儀實驗室設備有限公司”,專注于實驗電爐研發(fā)與銷售業(yè)務。 2015年成立“河南成儀設備科技有限公司”,致力于實驗電爐和工業(yè)用爐的研發(fā)生產與銷售工作。 2016年成立“鄭州成錦儀器設備有限公司”,致力于周邊配套設備的貿易與進出口業(yè)務,全力打造“成儀”品牌,進一步向集團化發(fā)展邁出堅實的一步。 本公司所研發(fā)的實驗電爐和工業(yè)用爐均為國內的技術產品,主要包括:管式爐,箱式爐,淬火爐,快速退火爐,CVD薄膜生長爐,推板窯,輥道窯,網帶窯爐等,主要用于科研實驗室和民用新材料生產領域。 本公司成立之目的就是為了引進國外爐業(yè)設計技術,整合國內行業(yè)資源,根據用戶實際條件和需求提供與之匹配的熱處理相關設備。無論有技術需求還是經費有限之用戶都能用上技術*的熱處理設備。 我公司擁有雄厚的科研力量、嚴密的產品質量控制,以及完善的技術支持和強大的售后服務,使其產品不斷地在國內材料研究領域和工業(yè)生產用窯爐等同類產品中處于地位。 在經濟競爭日趨激烈的形勢下,成儀會繼續(xù)秉承著熱情、遠瞻、創(chuàng)新的理念,努力并保持以更*的技術推動國內材料研究事業(yè)向更高的領域發(fā)展。
          工業(yè)爐
          型號:RTP1100用途:快速退火與鍍膜規(guī)格:Φ100*200特點:快速升溫快速降溫
          快速退火爐 產品信息

            快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),不但擁有很快的升溫速率100℃/S,而且降溫速率也有了質的飛躍,降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝,以至于達到如此快的降溫速度。真正的快速升溫和快速降溫!

            腔體采用了雙層石英管結構,外層管進氣,內層管出氣,使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。

            加熱燈管之所以能夠讓硅片快速升溫,是因為光源波長在0.3-4微米之間,石英管壁無法有效吸收這一波段的輻射,而晶片則正好相反。因此,晶片可以吸收輻射能量快速加熱,而此時石英管壁仍維持低溫,即所謂冷壁工藝。

            應用領域:

            Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

            Ø 石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長

            Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

            Ø 硅化 (Silicidation);

            Ø 擴散 (Diffusion);

            Ø 離子注入后退火 (Implant Annealing);

            Ø 電極合金化 (Contact Alloying);

            Ø 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);

            主要特點:

            Ø 快速升溫100℃/S,快速降溫100℃/S;

            Ø 雙層爐管結構,氣氛與樣品接觸更均勻;

            Ø 直接測量樣品表面溫度,測溫更精準;

            Ø 爐膛根據設置可自動左右移動,可以滿足更多的實驗應用;

            Ø 真空度可達9.8×10-4Pa;

          主要技術指標數據
          產品型號RTP1100
          極限溫度1200℃
          額定溫度1100℃
          控溫精度±1℃
          溫場均勻性±2℃
          升溫速率100℃/S
          降溫速率100℃/S
          操控系統(tǒng)智能模糊控制
          操作界面7英寸觸摸屏
          加熱方式短波紅外線加熱
          加熱腔體結構雙層管
          氣體流動方式外管進氣,內管出氣
          擴充端口  可擴充真空測控和FFC供氣
          過載保護  電流過大自動切斷主回路
          超溫保護  溫度出現過高時切斷主回路
          傳感器類型   S型單鉑銠
          反應腔室尺寸   Φ100*200mm
          式樣有效空間3.5英寸
          傳感器類型9.8×10-4Pa
          抽氣端口尺寸KF16(或Φ8mm寶塔嘴)
          供氣口尺寸Φ6.35mm雙卡套(或Φ8mm寶塔嘴)
          樣品冷卻方式風冷
          法蘭冷卻方式水冷
          功率15KW
          額定電壓   AC 380V,50Hz
          外形凈尺寸950*500*560
          重量約55KG

           

          關鍵詞:觸摸屏
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