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日本小野LV-2100A激光干涉位移計系統(tǒng)
日本小野LV-2100A激光干涉位移計系統(tǒng)
常規(guī)的振動位移檢測集中在從加速度（m / s 2）或速度（m / s）到位移的轉(zhuǎn)換。然而MEMS（微機電系統(tǒng)）或壓電元件的應(yīng)用的致動器通常是那些表現(xiàn)為矩形的驅(qū)動和直流偏移，在位移轉(zhuǎn)換的正確位移測量通過在現(xiàn)有的加速度傳感器的積分處理和激光多普勒振動計這是不可能的。
激光干涉位移計LV-2100A是1兆赫處于卸載，非接觸取樣MEMS和壓電元件小和高速振動位移，高位移分辨率0.155納米，可以直接從DC檢測。激光光斑直徑小至φ1.5μm，空間分辨率高。
數(shù)字位移輸出的分辨率范圍相關(guān)分辨率沒有降低（與模擬輸出相比）。
各種硬件和軟件組，如FFT分析儀和“Oscope / Oscope Professional時間序列分析工具”，包括可選的位移分析軟件（LV-0930），支持更有效的測量和分析。
特點
位移分辨率0.155 nm隨著
振動頻率的增加，位移也會減小，因此難以用傳統(tǒng)的激光位移計進行測量。LV-2100A可以檢測0.155 nm分辨率的位移。
高達1 MHz的高速采樣
LV-2100A通過1 MHz的高速采樣檢測振蕩位移。利用0.155nm分辨率的性能，可以檢測待測量的寬物體從一般機械振動到MEMS和壓電元件的振蕩位移。
數(shù)據(jù)是模擬和數(shù)字輸出LV-2100A可以輸出
模擬電壓和數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的檢測數(shù)據(jù)。模擬位移輸出為DC - 100 kHz，數(shù)字位移輸出通過USB 2.0高速傳輸?shù)絇C。可以立即在PC上處理數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)，而不受傳輸錯誤和阻抗的影響。
使用CCD相機輕松檢測微小物體
通過安裝可選的視頻觀察裝置（LV-0180），LV-2100A可以在檢查激光束同軸位置的照射位置的同時工作。這樣，可以將激光地定位和照射到小部件和小部件上。通過安裝可選的物鏡（LV-0155），可以增加觀察倍率并將激光光斑縮小到φ3μm。
豐富的數(shù)據(jù)分析工具，硬性和軟性
LV-2100A可以輸出所有位移數(shù)據(jù)作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。通過使用可選的位移分析軟件（LV-0930），LV-2100A檢測到的振動位移數(shù)據(jù)可以從疊加到大的位移到微小的位移進行測量。還可以通過將位移數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為速度和加速度來進行分析。此外，時間序列分析工具選項“Oscope 2”可以進行各種分析，如FFT分析，速度，加速度轉(zhuǎn)換。結(jié)合FFT分析儀，我們還可以啟用豐富的多功能軟件，以數(shù)字方式處理微小位移并提取信號，直到數(shù)字處理振動位移波形和頻率分析。
*需要位移分析軟件“LV - 0930”才能在PC上接收數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。
※Oscope 2將以CSV格式導(dǎo)入。
傳感器單元
| 檢測解調(diào)方法 | 通過光學(xué)外差檢測進行位移解調(diào) |
|---|---|
| 光源 | He-Ne激光（波長632.8 nm） |
| 退出燈輸出 | 1 mW或更低（符合FDA 2的JISC 6802標(biāo)準(zhǔn)） |
| 焦距 | 100毫米?∞ |
| 測量范圍 | 使用反光帶（LV-0012）：使用±10 mm 角隅棱鏡：±5 m |
| 激光光斑直徑 | 焦距100毫米，φ20微米或更小 |
| 鏡頭部分 | 可在可設(shè)定范圍內(nèi)任意設(shè)定手動設(shè)定 |
| 顯示單元 | ●干擾電平指示：10段LED條 ●檢測ERROR指示：紅色LED亮 |
| 主傳感器固定孔 | M8×1（Helisert強化） |
| 輔助固定孔 | M4×2（Helisert強化） |
| 信號線 | 長度3米 （電纜彎曲半徑：50毫米或更小，電纜殼體::阻燃UL認(rèn)證材料PVC黑色） |
| 塊 | 500克（不含電纜） |
位移轉(zhuǎn)換單位
| 模擬輸出 | 模擬輸出 | ±10 V（輸入阻抗為100kΩ或更高） |
|---|---|---|
| 截止頻率 | DC：DC至100 kHz（fc = -3 dB） AC：0.3 Hz至100 kHz（fc = -3 dB） | |
| 線性 | ±0.1％/ FS | |
| 模擬紋波 | 2 mVp-p或更低 | |
| 輸出阻抗 | 50Ω（小輸入阻抗100kΩ或更高） | |
| 輸出端子 | BNC（二氧化碳型） | |
| 模擬位移范圍 | 測量速度 | 5.0米/秒（所有范圍） |
| 范圍指示 | 選擇范圍顯示7段LED | |
| 設(shè)定范圍 | 范圍測量范圍模擬小分辨率數(shù)字分辨率0.1 mV±1μm0.15納米0.155nm1μm/ V.±10μm0.3納米5μm/ V.±50μm1.5納米10μm/ V.±100μm3納米100μm/ V.±1毫米30納米2毫米/ V.±20毫米618納米0.1米/伏±1.0米30微米0.5米/伏±5.0米154微米1米/ V.±10米309毫米 | |
| 范圍超過顯示 | 紅色LED亮度超過100％ | |
| 重置指示 | 位移零重置操作·輸入時綠色LED亮起 | |
| 采樣頻率 | 模擬輸出：1 MHz固定 數(shù)字輸出：通過可變地位移分析軟件（LV-0930） （1兆赫，500千赫，200千赫，100千赫，50千赫，20千赫，10千赫，5千赫，2千赫茲，1千赫，500赫茲，200赫茲， 100赫茲，50赫茲，20赫茲，10赫茲，5赫茲，2赫茲，1赫茲，0.5赫茲） | |
| 數(shù)字輸出 | USB Ver.2.0（全速） 連接器類型：迷你B型 | |
| EXT信號輸入 | 位移零重置信號輸入/ TRIG信號輸入
| |
| SYNCHRONOUS信號輸入/輸出 | 同步連接器（連接兩個時）
| |
激光單元
| 探測器靈敏度切換 | 滑動開關(guān)3步切換 |
|---|---|
| 監(jiān)視輸出 * 輸出干擾電平作為電壓輸出 | 模擬輸出：0至10 V 輸出阻抗：50Ω或更小 輸出端子：BNC（CO 2型） |
| 顯示單元 | ●干擾電平指示：20段LED條 ●激光狀態(tài)指示::激光輻射時綠色LED亮起 ●ERROR指示：測量錯誤時紅色LED亮起 |
| 存儲 | 傳感器可伸縮，電纜可重繞 |
| 安全鎖 | 關(guān)閉激光光路（短路激光輻射），無電壓1a接觸輸入 |
| 使用的電源 | AC 100至240 V 50/60 Hz |
| 功耗 | 70 VA或更低 |
| 工作溫度范圍 | -5至+ 40°C |
| 工作濕度范圍 | 相對濕度為30％至80％（無結(jié)露） |
| 儲存溫度范圍 | -10至+ 50°C |
| 塊 | 身體：12公斤（包括傳感器） |
| 外部尺寸 | 393（W）×222（D）×135（H）mm |
符合性標(biāo)準(zhǔn)
本儀器根據(jù)以下標(biāo)準(zhǔn)進行設(shè)計和檢查。
“JIS C 6802（激光產(chǎn)品的輻射安全標(biāo)準(zhǔn)）”
“IEC 60825-1：2007”“FDA（CDRH）”
“FCC（第15 B部分）”“加拿大EMI法規(guī)（ICES - 003）”
