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          APR 4300

          參考價(jià)面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱深圳市藍(lán)鈦科技有限公司
          • 品       牌
          • 型       號
          • 所  在  地深圳市
          • 廠商性質(zhì)其他
          • 更新時(shí)間2022/4/11 15:48:12
          • 訪問次數(shù)222
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          藍(lán)鈦科技的產(chǎn)品涉及汽車、鋼鐵、電子、塑料、橡膠、管材、建材、鞋類、皮革、紡織等各大領(lǐng)域,服務(wù)對象覆蓋中國各企業(yè)以及相關(guān)行業(yè)科研院所、檢測機(jī)構(gòu)等等。深圳市藍(lán)鈦科技有限公司是一家成立于2015年的試驗(yàn)儀器設(shè)備解決方案專業(yè)供應(yīng)商。我們專注于為客戶提供材料分析及品質(zhì)控制的高品質(zhì)設(shè)備及技術(shù)支持服務(wù)。我們的產(chǎn)品主要來自于自主研發(fā)、制造,以及與國內(nèi)外優(yōu)秀供應(yīng)商合作,長期為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品及服務(wù)。目前公司專營和代理電子試驗(yàn)機(jī)、高頻疲勞試驗(yàn)機(jī)等力學(xué)檢測設(shè)備,德國普發(fā)真空機(jī)、真空系統(tǒng)等真空系列產(chǎn)品,普銳斯、徠卡系列金相檢測設(shè)備,EMCOTEST硬度計(jì)系列專用設(shè)備等。同時(shí)公司還代理相關(guān)實(shí)驗(yàn)室耗材如標(biāo)樣、砂紙、愛德龍工業(yè)潤滑油等實(shí)驗(yàn)室配套消耗物料。公司匯集眾多行業(yè)精英,主創(chuàng)團(tuán)隊(duì)均擁有試驗(yàn)檢測行業(yè)十年以上經(jīng)驗(yàn),期待與您的精誠合作!
          分析儀器
          APR 4300 可在分子層面上凈化 300 mm 的晶圓以及它們的運(yùn)輸箱 (FOUP),并在等待時(shí)間內(nèi)保護(hù)它們。
          APR 4300 產(chǎn)品信息

          可靠的凈化處理和預(yù)防污染


          APR 是一個(gè)在等待時(shí)間內(nèi)凈化晶圓并防止污染的系統(tǒng)??諝夥肿游廴疚铮ê喎Q AMC)降低了半導(dǎo)體生產(chǎn)中的產(chǎn)量和質(zhì)量而 APR 則能有效地防止晶圓和輸送箱表面吸附被污染的有機(jī)或無機(jī)分子。通過在 APR 室里進(jìn)行疏散,吸附概率大幅度減少。晶圓廠可通過這種方式顯著地增加產(chǎn)量,且各個(gè)工藝步驟之間的等待時(shí)間也會(huì)得到優(yōu)化。




          APR 是如何工作的


          FOUP 既可以手動(dòng)傳送,也可通過 2 個(gè)裝載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來傳送。APR 是一個(gè)帶有四疊真空室的系統(tǒng),用于對晶圓和 FOUP 作凈化去污處理,這項(xiàng)工作由一個(gè)可靠的機(jī)器人來擔(dān)任。所有腔室都配備了真空泵站、氣箱、操作面板以及帶電源的控制器。且這些腔室均可以單獨(dú)地進(jìn)行操作。當(dāng)把含有晶圓的 FOUP 裝載到腔室以后,腔室中的壓力減少到 0.1 mbar。然后進(jìn)行去污凈化處理。之后,該腔室采用潔凈的氮?dú)膺M(jìn)行吹掃并恢復(fù)到大氣壓。此時(shí),這些晶圓以及運(yùn)輸箱不受污染已超過一天。


          關(guān)鍵詞:機(jī)器人 控制器
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