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Aerotech ABL系列氣浮平臺(tái)
Aerotech ABL系列氣浮軸承直驅(qū)直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，擁有超的定位功能，精度在0.2~0.5um之間。
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
專為掃描和檢查而設(shè)計(jì)
所有空氣軸承表面上的有效空氣預(yù)載
線性編碼器反饋提供亞納米分辨率
高剛性，可承受重載，并具有幾何性能
行程達(dá)500毫米
前沿制造業(yè)，特別是在半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)中，要求的定位公差超出了傳統(tǒng)滾珠絲杠和機(jī)械軸承定位系統(tǒng)的能力。ABL1500空氣軸承臺(tái)具有*主動(dòng)的預(yù)緊力，*的剛度和幾何特性，為滿足這些需求而設(shè)計(jì)。
空氣軸承設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)性能
ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預(yù)載功能。相對的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負(fù)載分配到較大的表面積上之外，這種設(shè)計(jì)還可以使平臺(tái)具有剛度，非常適合重載或偏載。
制造技術(shù)導(dǎo)致了具有無法 的幾何特征的階段?？諝廨S承具有固有的平均效應(yīng)，可限度地提。薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規(guī)則性。此特性可產(chǎn)生螺距，滾動(dòng)，偏航，直線度和平坦度規(guī)格。
直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
此階段的驅(qū)動(dòng)力是Aerotech的BLMC系列無刷線性伺服電機(jī)。該設(shè)計(jì)體現(xiàn)了Aerotech作為電機(jī)制造商的悠久歷史和經(jīng)驗(yàn)。BLMC使用無鐵力，這意味著零齒槽效應(yīng)和無吸引力，從而實(shí)現(xiàn)了的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性。BLMC能夠產(chǎn)生高的力和速度，代表了功率和性能的結(jié)合。
零維護(hù)
我們的*非接觸式空氣軸承，非接觸式線性電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器和非接觸式反饋設(shè)備確保了Aerotech設(shè)備所期望的水平下的多年免維護(hù)運(yùn)行。由于運(yùn)動(dòng)元件之間沒有機(jī)械接觸，所以隨著時(shí)間的流逝，ABL1500不會(huì)遭受磨損或性能下降。使用壽命幾乎是的，并且由于沒有潤滑-只有清潔，干燥的氣體-空氣軸承是潔凈室和醫(yī)療應(yīng)用的理想選擇。
電纜管理
我們精心優(yōu)化電纜彎曲半徑，以確保多年*運(yùn)行。萬一發(fā)生故障，Aerotech的模塊化設(shè)計(jì)使電纜更換變得快速簡便，停機(jī)時(shí)間少。我們將所有客戶要求的電纜，空氣軟管等都包含在CMS捆綁包中，以便于集成到終系統(tǒng)中。兩端*連接，可輕松集成到客戶的機(jī)器中。
技術(shù)指標(biāo)
機(jī)械規(guī)格
模型 | ABL1500-050 | ABL1500-100 | ABL1500-200 | ||
旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 200毫米 | ||
準(zhǔn)確性（1） | E1 | 已校準(zhǔn) | ±0.3微米 | ±0.3微米 | ±0.5微米 |
標(biāo)準(zhǔn) | ±2.0微米 | ±4.0微米 | ±8.0微米 | ||
E3 | 已校準(zhǔn) | ±0.2微米 | ±0.2微米 | ±0.4微米 | |
標(biāo)準(zhǔn) | ±1.0微米 | ±2.0微米 | ±5.0微米 | ||
重復(fù)性 （雙向）（1） | E1 | ±0.1微米 | ±0.2微米 | ||
E3 | ±0.05微米 | ±0.05微米 | ±0.1微米 | ||
直線度（1） | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ||
平面度（1） | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ||
瀝青 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
滾 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
偏航 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
速度 | 2 m /秒 | ||||
加速度 | 2克（空載） | ||||
力（連續(xù)） | 93.6 N | ||||
載重量（2） | 臥式 | 35公斤 | |||
側(cè) | 25公斤 | ||||
運(yùn)營壓力 | 80 psi±5 psig | ||||
耗氣量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴） | ||||
移動(dòng)質(zhì)量（空載） | 5.1公斤 | ||||
舞臺(tái)質(zhì)量 | 14.7公斤 | 16.0公斤 | 18.6公斤 | ||
材料 | 鋁 | ||||
MTBF（平均*時(shí)間） | 30,000小時(shí) | ||||
通過每個(gè)階段的認(rèn)證。
列出了軸上加載的軸方向。
規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點(diǎn)。有關(guān)多軸或非標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用，請咨詢工廠。
為了防止空氣軸承承受負(fù)壓，建議在運(yùn)動(dòng)控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個(gè)在線壓力開關(guān)。
供氣必須清潔，干燥至0°F露點(diǎn)并過濾至0.25 µm或更高；建議使用純度為99.9％的氮?dú)狻?/p>
對于XY配置，上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm，則需要ABL1500WB作為下軸。
Aerotech ABL系列氣浮平臺(tái)
模型 | ABL1500-300 | ABL1500-400 | ABL1500-500 | ||
旅行 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | ||
準(zhǔn)確性（1） | E1 | 已校準(zhǔn) | ±0.5微米 | ±0.6微米 | ±0.6微米 |
標(biāo)準(zhǔn) | ±12.0微米 | ±16.0微米 | ±20.0微米 | ||
E3 | 已校準(zhǔn) | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ±0.5微米 | |
標(biāo)準(zhǔn) | ±5.0微米 | ±5.0微米 | ±5.0微米 | ||
重復(fù)性 （雙向）（1） | E1 | ±0.2微米 | ±0.3微米 | ||
E3 | ±0.15微米 | ±0.2微米 | |||
直線度（1） | ±0.75微米 | ±1.5微米 | ±2.0微米 | ||
平面度（1） | ±0.75微米 | ±1.5微米 | ±2.0微米 | ||
瀝青 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
滾 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
偏航 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
速度 | 2 m /秒 | ||||
加速度 | 2克（空載） | ||||
力（連續(xù)） | 93.6 N | ||||
載重量（2） | 臥式 | 35公斤 | |||
側(cè) | 25公斤 | ||||
運(yùn)營壓力 | 80 psi±5 psig | ||||
耗氣量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴） | ||||
移動(dòng)質(zhì)量（空載） | 5.1公斤 | ||||
舞臺(tái)質(zhì)量 | 21.3公斤 | 23.9公斤 | 26.5公斤 | ||
材料 | 鋁 | ||||
MTBF（平均*時(shí)間） | 30,000小時(shí) | ||||
通過每個(gè)階段的認(rèn)證。
列出了軸上加載的軸方向。
規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點(diǎn)。有關(guān)多軸或非標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用，請咨詢工廠。
為了防止空氣軸承承受負(fù)壓，建議在運(yùn)動(dòng)控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個(gè)在線壓力開關(guān)。
供氣必須清潔，干燥至0°F露點(diǎn)并過濾至0.25 µm或更高；建議使用純度為99.9％的氮?dú)狻?/p>
對于XY配置，上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm，則需要ABL1500WB作為下軸。
ABL系列定位平臺(tái)優(yōu)點(diǎn)：
•幾何性能的氣浮導(dǎo)軌
•1.2 m x 1.2 m 的行程
•光柵尺或激光回饋干涉儀
•亞微米定位精度
•XY 和 XYZ 集成系統(tǒng)
•無槽直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)
同時(shí)我們還提供其他型號的納米級直線、旋轉(zhuǎn)高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，比如 pro系列，ANT95系列等等。
