X射線由Mo靶或W靶產(chǎn)生，在Ni/C人工多層膜上反射并單色化。扁平的光束以非常小的角度(0.3 – 0.6 °)掠射裝有樣品的樣品架，并產(chǎn)生全反射。樣品所產(chǎn)生的特征熒光被能量色散探測(cè)器(XFlash® detector) 探測(cè)，強(qiáng)度通過(guò)偶合的多通道分析器測(cè)量。 

與常規(guī)的XRFzui大的不同，全反射熒光（TXRF）是使用了單色光和全反射光學(xué)部件。以全反射光束照射樣品，降低了吸收、以及樣品及襯底材料對(duì)光的散射。結(jié)果是大大降低了背景噪音，因此有高的多的靈敏度和明顯地降低了基體效應(yīng)。 

全反射熒光(TXRF)的zui主要優(yōu)點(diǎn)是，相對(duì)于其他原子波譜分析法，如AAS 或 ICP-OES，無(wú)記憶效應(yīng)。 

全反射熒光分析法，樣品必須制備在能全反射X射線的樣品架上。因此，樣品架的直徑30mm，材料通常是丙烯酸或石英玻璃。 

液體樣品直接滴在樣品架上，通常是使用微量移液管轉(zhuǎn)移幾微升（µl）試液到樣品架上。然后在干燥器里蒸發(fā)或在烘箱中干燥。 

固體樣品，有不同的制樣方法。粉末樣品（懸浮質(zhì)、土壤、礦物、金屬、色素、生化樣品，等等）可以把樣品直接放在樣品架上直接測(cè)量。典型的方法是，使用小勺或無(wú)塵紙轉(zhuǎn)移幾微克（µg）的樣品到樣品架上。 

單個(gè)的微量樣品（顆粒，長(zhǎng)條等）也可以用類似的方法直接制樣。 

另外，粉末樣品可以使用揮發(fā)性溶劑如丙酮或甲醇制成懸浮液，懸浮液用移液管轉(zhuǎn)移到樣品架上，還可以使用微波消解的辦法。

主要特點(diǎn)：
 

主要技術(shù)特點(diǎn) 
? 可對(duì)固體、粉末、液體、懸浮物、過(guò)濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進(jìn)行定性、定量分析，元素范圍13Al-92U，含量范圍ppb至*，檢出限到2pg。 
? 需要樣品量少，液體及懸浮物樣品1-50微升，粉末樣品10微克以內(nèi)。 
圖2.4 S2 PICOFOX 
? *的便攜式全反射熒光儀，設(shè)備小巧，一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，不需要任何輔助設(shè)備及氣體、液氮等，可拿到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行分析。 
? 1位及25位全自動(dòng)進(jìn)樣器兩款設(shè)計(jì)，分別適用于每天有少量樣品及大批量樣品的全自動(dòng)分析。 
? 第四代XFlash®SDD硅漂移探測(cè)器，采用帕爾貼冷卻技術(shù)，不需要液氮，沒(méi)有任何消耗。分辨率優(yōu)于160eV at MnKa 100Kcps。 
? 由于全反射無(wú)背景，熒光強(qiáng)度與元素含量直接成正比。標(biāo)準(zhǔn)曲線工廠已校準(zhǔn)好，用戶不需要標(biāo)樣就可以進(jìn)行定量分析。
? 應(yīng)用：水、廢水、土壤中的污染元素；血液、尿液、組織中的有毒元素；食品、醫(yī)藥、刑偵、環(huán)保、陶瓷、水泥、建材、地質(zhì)等領(lǐng)域。