射頻發(fā)生器技術(shù)指標(biāo)：
1. 電路類型：電感反饋式自激振蕩電路，同軸電纜輸出，匹配調(diào)諧，功率反饋閉環(huán)自動控制。
2. 工作頻率：40MHz±0.05％
3. 頻率穩(wěn)定性：＜0.1%
4. 輸出功率：800W—1200W
5. 輸出功率穩(wěn)定性：＜0.3%
6. 電磁場泄漏輻射強度：距機箱30cm處電場強度E：＜2V/m
高頻箱
本裝置采用電感反饋自激式振蕩電路，同軸電纜輸出，匹配調(diào)諧，采用功率反饋進行閉環(huán)自動控制（獲得國家發(fā)明），
使等離子體火焰極為穩(wěn)定，該發(fā)生器可使用工業(yè)氬氣工作哦，不但點燃ICP火焰容易，同時還節(jié)省采用高純氬氣的昂貴費用。
匹配箱
由真空陶瓷可調(diào)電容及空氣可調(diào)電容等組成的性能優(yōu)良的匹配箱，使之達到的匹配狀態(tài)，在負載線圈上獲得zui大的有效輸出功率。
定向耦合器
功率控制是采用從定向耦合器取出功率信號經(jīng)檢波放大后，控制振蕩電子管的陽極電壓，達到功率輸出穩(wěn)定的目的。
進樣裝置技術(shù)指標(biāo)：
輸出工作線圈內(nèi)徑25mm，3匝
矩管：三同心型，外徑20mm的石英矩管
同軸型噴霧器外徑6mm
雙筒形霧室外徑34mm
氬氣流量計規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格：
①. 等離子氣流量計（100-1000）L/h (1.6-16L/min)
②. 輔助氣流量計（10-100）L/h (0.16-1.66L/min)
③. 載氣流量計（10-100）L/h (0.16-1.66L/min)
④. 載氣穩(wěn)壓閥（0-0.4MPa）
⑤. 冷卻水：水溫：15-25℃ 流量>5L/min 水壓>0.1MPa 電阻率>1MΩ
分光器技術(shù)指標(biāo)
1．光路： Czerny-Turner
2．焦距： 1000 mm
3．光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，刻線面積（80×110） mm
(可選用刻線密度2400線/mm，刻線面積：80×110mm
4．線色散率倒數(shù)：0.26nm/mm
5．分辨率： ≤ 0.008nm
6. 掃描波長范圍：
3600線/mm掃描波長范圍：195—500 nm
2400線/mm掃描波長范圍：195—800 nm
7．步進電機驅(qū)動zui小步距: 0.0006 nm
8．出射、入射狹縫：20μm
9. 反射鏡規(guī)格：（78×105×16）mm
10．透鏡φ30，1：1成像
11．分光器恒溫裝置：32℃±1℃