等離子清洗機(jī)的使用優(yōu)勢(shì)

• 帶觸摸屏的PLC控制器提供了直觀圖形界面和實(shí)時(shí)工藝呈現(xiàn)。
• 無(wú)論是直接等離子，還是下游等離子模式，彈性架板結(jié)構(gòu)都可以應(yīng)對(duì)各種不同的樣品載具。
•射頻發(fā)生器有自動(dòng)阻抗調(diào)諧，實(shí)現(xiàn)了成熟的工藝再現(xiàn)性。
• 專有的軟件控制系統(tǒng)生成工藝和生產(chǎn)數(shù)據(jù)用于統(tǒng)計(jì)制成控制。
• 批處理類型，每一個(gè)單元都包含在機(jī)器內(nèi)部，只需要較小的占地面積。
• 泵、腔體、電子控制、射頻源都被封裝在一個(gè)箱體內(nèi)。

等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。