摘要：用微機械加工技術(shù)制造的典型產(chǎn)品是硅微型壓力傳感器，對此美國日本和歐洲均已形成產(chǎn)業(yè)。硅微型壓力傳感器近幾年來發(fā)展很快，該傳感器主要應(yīng)用于汽車工業(yè)和醫(yī)療保健領(lǐng)域。
　　
　　硅微型壓力傳感器的特點是體積小，重量輕，沒有活動部件，可靠性高，又能大規(guī)模生產(chǎn)該傳感器，所以造價低。高可靠性，低成本對于汽車工業(yè)的要求可以說是非常適合的，因此在汽車工業(yè)中迅速擴展了它的應(yīng)用領(lǐng)域。如自動剎車系統(tǒng)的壓車面壓力，輪胎壓力，氣囊壓力，傳動系統(tǒng)流體壓力，注入系統(tǒng)流體壓力，注入燃料壓力，發(fā)動機機油壓力。進氣管道壓力都有硅微型壓力傳感器額用武之地。
　　
　　LUCASNOVASENSOR公司甚至采用微機械加工技術(shù)開發(fā)了一種能直接埋入輪胎的壓力傳感器。它能在汽車輪胎壓力很低或輪胎在跑氣時向司機報警。*汽車每年的生產(chǎn)量高達幾千萬輛，因此這是一個極有前途的市場。
　　
　　硅微型壓力傳感器在醫(yī)療保健領(lǐng)域里的zui大應(yīng)用產(chǎn)品是血壓監(jiān)視器。據(jù)稱一些大的醫(yī)療機械制造上每年要使用近500萬只壓力傳感器。此外，如婦女難產(chǎn)時監(jiān)控子宮壓力用的硅微型壓力傳感器，靜脈注射監(jiān)控藥液流動的傳感器等都是有相當(dāng)數(shù)量的市場需求。其他許多醫(yī)療保健方面的應(yīng)用也正在不斷開發(fā)中。
　　
　　硅微型壓力傳感器基本上分成兩類：電容式和壓阻式。電容式的壓力傳感器包括一個薄膜，它作為可變空氣電容器的一個極板，當(dāng)薄膜上承受壓力時，薄膜產(chǎn)生位移，從而改變電容值，利用這種變化經(jīng)過相應(yīng)的電路處理，就可得到壓力值。壓阻式傳感器使用硅材料承受壓力時會產(chǎn)生電阻變化的原理制成，一般將4個硅材料的應(yīng)變電阻構(gòu)成惠斯通電橋來測量壓力。