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azbil山武 PBZ-CL007V 邊緣檢測傳感器
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號(hào)
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訪問次數(shù)：572更新時(shí)間：2022-02-25 18:01:01
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產(chǎn)品簡介
概要PBZ激光傳感器采用平行激光束和一個(gè)CMOS線性圖像傳感器專長檢測薄膜、晶圓或玻璃基板的邊緣位置。
產(chǎn)品介紹
- 星級(jí)：無 點(diǎn)評(píng)：0 人氣：195 發(fā)布時(shí)間：2011-07-12
- 產(chǎn)品分類：離散傳感器,激光檢測 品牌：
- 關(guān)鍵詞：azbil山武,PBZ-CL007V,邊緣檢測傳感器
產(chǎn)品介紹：azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器概要PBZ激光傳感器采用平行激光束和一個(gè)CMOS線性圖像傳感器專長檢測薄膜、晶圓或玻璃基板的邊緣位置。
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azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器,azbil PBZ-CL007V邊緣檢測傳感器
概要PBZ激光傳感器采用平行激光束和一個(gè)CMOS線性圖像傳感器專長檢測薄膜、晶圓或玻璃基板的邊緣位置。
*1. 重復(fù)精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. *于 PBC-201VN0/2
*3. *于 PBC-203VN2
測定內(nèi)容
重復(fù)精度 ±1 μm* — 準(zhǔn)確檢測出真實(shí)的邊緣位置FDN算法是一種對(duì)于任意的工作距離（WD）都能準(zhǔn)確地計(jì)算出真實(shí)的邊緣位置的算法。
*PBZ-CL007V的重復(fù)精度為±1 μm，PBZ-CL030H/V的重復(fù)精度為±5 μ。檢測條件請(qǐng)參照規(guī)格。
不受檢測面污垢引起的受光光量衰減的影響受光單元采用線性圖像傳感方式，不受檢測面污垢的影響，實(shí)現(xiàn)高精度的檢測。并且，
配置了“光強(qiáng)度衰減報(bào)警功能”，到了維修時(shí)期便會(huì)發(fā)出警報(bào)。
干擾消除功能
不檢測標(biāo)簽等凸起物，只檢測薄膜的邊緣。
將當(dāng)前的測定值與設(shè)定時(shí)間（輸出延遲時(shí)間）前的數(shù)值進(jìn)行比較，如果變化量超過了設(shè)定值（跳讀設(shè)定值），則保持變化前的數(shù)值并將其模擬輸出。
θ演算功能根據(jù)玻璃邊緣的位置變化，演算傾斜度θ后輸出。測量范圍：±3°。
缺口檢測功能（位置變化輸出）設(shè)定位置變化時(shí)間（T）和位置變化量（L），如果變化量超過設(shè)定的傾斜度，進(jìn)行數(shù)字（DO）輸出。
應(yīng)用
概要PBZ激光傳感器采用平行激光束和一個(gè)CMOS線性圖像傳感器專長檢測薄膜、晶圓或玻璃基板的邊緣位置。
- FDN算法
高精度的邊緣檢測*1
- 針對(duì)檢測面污垢會(huì)影響檢測精度的課題，配置了線性圖像傳感器和光量衰減報(bào)警功能。
- 透明物體檢測用算法
可穩(wěn)定檢測透明物體。
- 標(biāo)準(zhǔn)雙通道輸入控制器
可進(jìn)行雙檢測值運(yùn)算，減少布線工作量，節(jié)省空間。
- RS-485通信（僅對(duì)應(yīng)PBC-201VN2/PBC-203VN2） 可將數(shù)據(jù)傳輸至PLC及觸摸界面。
- 安全性能
JIS 1級(jí)光束。不需要任何特別保護(hù)措施。
- 多功能
可忽略薄膜不規(guī)則部分的干擾消除功能*2
玻璃基板對(duì)準(zhǔn)時(shí)傾斜度θ計(jì)算功能*3
通過位置變化檢測功能可檢測出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
*1. 重復(fù)精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. *于 PBC-201VN0/2
*3. *于 PBC-203VN2
測定內(nèi)容| 控制器型號(hào) | 邊緣位置測定 （透明體或不透明體）  | 遮光寬度測定 | 間隙測定 |
| 7 mm傳感器頭用PBC-201VN0 | ○ | ― | ― |
| 7 mm傳感器頭用PBC-201VN2 | ○ | ○ | ○ |
| 30 mm傳感器頭用PPBC-203VN2 | ○ | ― | ― |
重復(fù)精度 ±1 μm* — 準(zhǔn)確檢測出真實(shí)的邊緣位置*PBZ-CL007V的重復(fù)精度為±1 μm，PBZ-CL030H/V的重復(fù)精度為±5 μ。檢測條件請(qǐng)參照規(guī)格。
- 菲涅爾衍射
光射在刀片或薄膜等薄型物體邊緣處會(huì)發(fā)生衍射。受光部衍射光的強(qiáng)度分布取決于受光器與薄型物體之間的距離（WD）。
不受檢測面污垢引起的受光光量衰減的影響配置了“光強(qiáng)度衰減報(bào)警功能”，到了維修時(shí)期便會(huì)發(fā)出警報(bào)。
- 傳統(tǒng)方式（PD）
因遮光引起受光量的減少，使PD的線性輸出發(fā)生變化。這種傳統(tǒng)的PD方式，由于受光面污垢（或檢測物透明度）造成受光光量衰減，使輸出值發(fā)生變化。所以，為了防止污垢，需要進(jìn)行空氣吹掃。
- 本公司的線性圖像傳感方式
根據(jù)各像素的亮度信息，測出遮光寬度。即使受光光量衰減，只要線性圖像傳感器的入光量不變，邊緣位置的輸出值就不會(huì)變化。
干擾消除功能 不檢測標(biāo)簽等凸起物，只檢測薄膜的邊緣。將當(dāng)前的測定值與設(shè)定時(shí)間（輸出延遲時(shí)間）前的數(shù)值進(jìn)行比較，如果變化量超過了設(shè)定值（跳讀設(shè)定值），則保持變化前的數(shù)值并將其模擬輸出。
θ演算功能缺口檢測功能（位置變化輸出）應(yīng)用- 檢測晶圓的偏芯和缺口位置
能夠穩(wěn)定檢測透明度高的玻璃晶圓或砷化鎵晶圓。并且，由于采用了線性圖像傳感方式，因此還能越過視孔進(jìn)行檢測。
- 檢測薄膜蜷曲
通過使用2對(duì)傳感器探頭計(jì)算傳
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（ 審核編輯：李晨輝 ）
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