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TY-58系列小口徑熱式氣體流量計，主要用于對微小氣體的流量精密測量。以小口徑區(qū)別于傳統(tǒng)的熱式氣體質(zhì)量流量計，TY-58系列具有量程比寬，響應(yīng)時間短，壓力 損耗小，使用方便，價格便宜等特點。TY-58系列熱式氣體流量計在真空鍍膜 、材料科學(xué) 、微電子工業(yè)、石油 化工、醫(yī)藥、環(huán)保和科學(xué)研究等領(lǐng)域中有著重要的應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)

微小氣體流量計工作原理

熱式氣體流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器,一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個RTD被置于介質(zhì)中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。