濺射蒸碳儀器庫(kù)號(hào)：M402923濺射蒸碳儀器庫(kù)號(hào)：M402923

規(guī)格 參數(shù)

主機(jī) 300mm×360mm×380mm（W×D×H）

副機(jī) 300mm×360mm×140mm（W×D×H）

真空規(guī) 皮拉尼真空計(jì)

濺射靶 二極直流濺射靶 （配）磁控靶（選配）

靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H）

靶材 Au(純度99.99%）

蒸發(fā)材料 碳纖維繩

樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃

濺射面積 Φ50mm

蒸碳面積 140mm

高真空度 ≤4×10-2mbar

濺射大電流 50mA （磁控靶100mA）

熱蒸發(fā)大電流 100A

濺射定時(shí)器時(shí)間 0-360s

熱蒸發(fā)時(shí)間 0-1s

微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管

可通入氣體 多種

濺射高電壓 -1600DCV

熱蒸發(fā)高電壓 28V

電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭

機(jī)械泵 2L/

重量 40Kg

規(guī)格 參數(shù)

主機(jī) 300mm×360mm×380mm（W×D×H）

副機(jī) 300mm×360mm×140mm（W×D×H）

真空規(guī) 皮拉尼真空計(jì)

濺射靶 二極直流濺射靶 （配）磁控靶（選配）

靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H）

靶材 Au(純度99.99%）

蒸發(fā)材料 碳纖維繩

樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃

濺射面積 Φ50mm

蒸碳面積 140mm

高真空度 ≤4×10-2mbar

濺射大電流 50mA （磁控靶100mA）

熱蒸發(fā)大電流 100A

濺射定時(shí)器時(shí)間 0-360s

熱蒸發(fā)時(shí)間 0-1s

微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管

可通入氣體 多種

濺射高電壓 -1600DCV

熱蒸發(fā)高電壓 28V

電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭

機(jī)械泵 2L/

重量 40Kg