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上海旭為光電科技有限公司
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產(chǎn)品型號
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所 在 地上海市
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更新時間：2024-06-25 12:27:05瀏覽次數(shù)：123次
聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)Difrotec 在光學(xué)測試方面開發(fā)了一項突破性技術(shù)Difrotec 在光學(xué)測試方面開發(fā)了一項突破性技術(shù)Difrotec是超高精度光學(xué)表面貼圖的。我們在光學(xué)系統(tǒng)和光學(xué)圖像處理的數(shù)學(xué)建模，開發(fā)用于DUV和EUV光刻的高精度光學(xué)系統(tǒng)的組裝，調(diào)整和測試的計算機模型的開發(fā)方面擁有30多年的經(jīng)驗，在點衍射波陣面研究方面已有8年以上的經(jīng)驗測試各種參數(shù)的光學(xué)元件。我們開發(fā)設(shè)計和制造了市場上臺商......
| 峰谷精度 | ± 0.6 nm （λ / 1000） |
| 峰谷分辨率 | 0.05 nm（λ/ 12000） |
| 波前RMS重復(fù)性 | < 0.23="" nm（λ=""> |
| 單點RMS重復(fù)性 | < 0.06="" nm（λ=""> |
| 激光類型和波長 | He-Ne ，632.8 nm |
| 數(shù)值孔徑NA | 0.55（f＃0.91） |
| 數(shù)據(jù)采集 | 相移干涉技術(shù)（PSI） |
| 圖像縮放系統(tǒng) | 通過軟件界面控制4倍光學(xué)變焦 |
| 采集時間 | 10ms |
| 曝光時間 | 最小40μs |
| 光學(xué)聚焦范圍 | ±2m |
理想?yún)⒖迹簾o使用物理參考引入的傳播錯誤
透射球面檢測精度比Fizeau干涉儀的檢測精度高100倍
D7比其他干涉儀檢查更多的表面特征
高穩(wěn)定性
應(yīng)用范圍廣
無回程誤差
2.球形凸面：
3.平面：
4.光學(xué)系統(tǒng)（波前質(zhì)量測試）：
光學(xué)測試和測量服務(wù)包括測試光學(xué)系統(tǒng)的凹面，凸面，直角立方體，平面，非球面，自由形式和透射波前的表面圖形，以及曲率半徑的測量
基于在高精度光學(xué)系統(tǒng)計算機建模方面的30多年經(jīng)驗，我們建立了自己的合作伙伴關(guān)系，以設(shè)計和制造高質(zhì)量的光學(xué)器件。我們在光學(xué)制造方面的長期合作伙伴是KPU-韓國工業(yè)大學(xué)。
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