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上海德竹芯源科技有限公司
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HP-200 熱板應用于光刻、MEMS 或相似工藝中，為提供精準的前烘和后烘工藝而存在。溫度范圍默認可以達到 250°C。設定溫度與實際溫度之間幾乎無偏差，可達到非常高質量的工藝水平。HP 系列熱板具備高水平的溫度精度重現性以及溫度分布均勻性?？商幚?200 × 200mm 尺寸的基片。 熱板加熱表面有玻璃蓋板，方便清潔。有此設計，也可大限度降低維護成本。因此，SAWATEC 熱板是實......
產品功能
● 數字溫度控制及實時溫度顯示
● 重復工藝的快速啟動
● 自動溫度限幅開關，避免過熱
● 加熱工藝可編程多段式，每個工藝可設置 20 段
● 電動升降式載片頂針
● 配備安全玻璃，也方便清潔
● 熱板快速調平，避免光刻膠流動
● 用戶操作的工藝參數配置界面以及觸摸屏
● 基片通過真空吸附固定
● 手動上下片
性能參數
● 均勻加熱區(qū)域：200mm × 200mm
● 溫度范圍：室溫到 250℃
● 溫度均勻性：100℃ 時溫差范圍 +/- 0.6℃
● 電動驅動頂針的升降
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