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          上海德竹芯源科技有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          SENTECH-沉積刻蝕多腔互聯(lián)系統(tǒng)
          
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								更新時間：2024-05-15 09:19:22瀏覽次數(shù)：77次
							
          
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          SENTECH 多腔系統(tǒng)包括等離子刻蝕和/或沉積腔體、傳送腔室、預真空室或片盒站。傳送腔室包括傳送機械手臂，可適用于三至六個端口?？墒褂枚噙_兩個片盒站來增加產量。傳送腔室可配備多種選擇。
          
				
          
				
          
                    詳細介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                                   
                                   
                                       
          沉積刻蝕多腔互聯(lián)系統(tǒng)
          RIE&CVD Cluster System
               ● 高產能：等離子蝕刻和沉積腔體可與多達兩個片盒站組合，用于到 200 mm 晶片的高產量工藝。
               ● 研發(fā)：三到六個端口傳送腔室可用于集成 ICP 等離子刻蝕機、RIE刻蝕機、原子層沉積系統(tǒng)、PECVD 和 ICPECVD 沉積設備，以滿足研發(fā)的要求。樣品可通過預真空室和/或真空片盒站加載。
               ● 高質量的多腔系統(tǒng)：ICP-RIE 等離子刻蝕腔體可與兩個片盒站組合用于 200mm 晶片的高產量并行工藝。
               ● ICP-RIE，RIE，PECVD 和 ICPECVD 等腔體可與預真空室，片盒站等組合使用，以滿足研發(fā)的特殊要求。
               ● SENTECH 多腔系統(tǒng)包括等離子刻蝕和/或沉積腔體、傳送腔室、預真空室或片盒站。傳送腔室包括傳送機械手臂，可適用于三至六個端口?？墒褂枚噙_兩個片盒站來增加產量。傳送腔室可配備多種選擇。
               ● 用于研發(fā)的 SENTECH 多腔系統(tǒng)通過圖形用戶界面控制軟件操作。強大的控制軟件可用于工業(yè)領域高產量的多腔系統(tǒng)。
                                   
                                 
                                 
                                   
                                                                
                                 
                                 
			        
          
			    
          
                			    
          關鍵詞：機械手
          
                                                				
			
          
			
          
		
          
	
          
	
    
          
		
          
			
          
				
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