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蘇州倍爾齊科技有限公司
蘇州倍爾齊科技有限公司
產(chǎn)品型號NST-400-LAU
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
聯(lián)系方式：寧洪查看聯(lián)系方式
更新時間：2023-10-28 11:46:28瀏覽次數(shù)：478次
聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)| 用途 | LTCC HTCC | 尺寸 | 450*450mm |
|---|---|---|---|
| 對位 | 自動CCD對位 |
日本Nikkiso日機裝全自動疊層機NST-400-LAU是高速高精度板自動堆疊設(shè)備，是由上片、撕背膜、反轉(zhuǎn)、對位、疊片、點膠、加壓、下片等單元組成，是實現(xiàn)多層生料帶精確疊層的有效手段。
日本Nikkiso日機裝全自動疊層機NST-400-LAU
日本日機裝HTCC靜電卡盤疊層機NST-400-LAU
日本Nikkiso日機裝全自動疊層機NST-400-LAU是高速高精度板自動堆疊設(shè)備，是由上片、撕背膜、反轉(zhuǎn)、對位、疊片、點膠、加壓、下片等單元組成，是實現(xiàn)多層生料帶精確疊層的有效手段。它通過自動定位、疊片、點膠、壓合等方法實現(xiàn)生料帶高精度疊層等功能，主要用于生料帶疊層。
日本Nikkiso日機裝HTCC靜電卡盤疊層機NST-400-LAU應(yīng)用領(lǐng)域：LTCC低溫共燒陶瓷，HTCC高溫共燒陶瓷，LTCC探針卡，HTCC靜電吸盤等多層陶瓷行業(yè)。材料對位疊加工序不與反向和焊接工序同時進行，有效保持定位后的正確位置精度。對位治具下方安裝有CCD視覺檢測系統(tǒng)來確認(rèn)定位標(biāo)識（材料加工孔等），保證了對位的精度和疊片的準(zhǔn)確性。
靜電卡盤（Electrostatic Chuck，簡稱E-Chuck），其原理是利用靜電吸附原理將待加工晶圓吸附在其表面，使晶圓保持較好的平坦度，可以抑制晶圓在工藝中的變形，并且可以通過背吹氣體來控制晶圓表面溫度。
相較于機械卡盤，靜電吸盤減少了機械運動部件，降低了顆粒污染，增大晶片的有效面積。與真空吸盤相比，靜電吸盤可用于低壓強（真空）環(huán)境，適用于需要利用卡盤控制晶片溫度的場合。
憑借這些特性，靜電卡盤被廣泛用于PVD、刻蝕機、離子注入機等設(shè)備，其在半導(dǎo)體制造工藝的多個環(huán)節(jié)扮演著重要作用。
現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝中包含晶圓的清洗、氧化、光刻、刻蝕、沉積等環(huán)節(jié)，每個環(huán)節(jié)中又涉及到多種工序，這其中離子摻雜、離子注入、物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）等工序均需要保證晶圓的平穩(wěn)固定，因此都需要靜電卡盤來進行夾持。
在半導(dǎo)體制造工藝中，晶圓的平整度與潔凈度對整個半導(dǎo)體制造的精度與良率至關(guān)重要，相較于傳統(tǒng)的機械卡盤與真空卡盤，靜電卡盤因吸附力均勻、污染小、可作用于真空環(huán)境等優(yōu)勢也就成了。
特點
LTCC或HTCC單張型疊層機
疊層精度：8英寸以內(nèi)是正負10um
對應(yīng)產(chǎn)品尺寸：150㎜, 203㎜，300mm，400mm
疊層方法：對位后，使用油壓機加壓疊層
節(jié)拍：20秒內(nèi)（按壓時間5秒時）
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