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洛陽西格馬高溫電爐有限公司

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更新時間：2024-03-24 10:13:44瀏覽次數(shù)：271次

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洛陽西格馬高溫電爐有限公司

經(jīng)營模式：其他

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產(chǎn)品簡介

SGM TF100-12IIII-4Z管式爐PECVD系統(tǒng)是由SGM TF100-12IIII三溫區(qū)管式爐、4路質(zhì)子混氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、射頻電源組成

詳細(xì)介紹

SGM TF100-12IIII-4Z 管式爐PECVD系統(tǒng)是由SGM TF100-12IIII三溫區(qū)管式爐、4路質(zhì)子混氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、射頻電源組成。

SGM TF100-12IIII三溫區(qū)管式爐設(shè)計工作溫度1200℃，連續(xù)使用溫度1100℃，具有三個溫區(qū)，三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)來控制，都可設(shè)置30段升降溫程序，每個溫區(qū)長度為150/300/150mm，總溫區(qū)長度為600mm，爐管為高純石英管，爐管尺寸：100 O.D x 2400mm L ，輸入電源：208 – 240V AC，單相功率：6.6KW配有一對不銹鋼真空密封法蘭內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。

主要技術(shù)參數(shù)：

電爐名稱：1200度小型三溫區(qū)管式爐

電爐型號：SGM TF100-12III三溫區(qū)管式爐

設(shè)計工作溫度：1200℃

連續(xù)使用溫度：1100℃

溫區(qū)數(shù)量：三溫區(qū)（150/300/150mm總溫區(qū)長度為600mm）

爐管材質(zhì)：石英管

爐管規(guī)格：φ100*2400mm

輸入電源：208 – 240V AC，單相功率

溫控系統(tǒng)：三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)控制

采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序

帶有超溫和斷偶保護(hù)

控溫精度：+/- 1 oC

外型尺寸

爐體：860 mmL × 380 mmW × 680 mmH

爐體下端移動柜：1800×600×600mm

凈重：220 Lbs.

運(yùn)輸重量：1200lbs。

*此款設(shè)備安裝控制模塊，將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦，配置I5-9400H終端兩處，配置I7-10710U終端3處。

質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng)

四個精密的質(zhì)量流量計(精度1.5% ) ：數(shù)字顯示，自動控制.

MFC 1范圍: 0~100 sccm

MFC 2和3: 0~200 sccm

MFC 4范圍: 0~500 sccm

一個混氣罐，底部裝有泄廢液口.

4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體.

進(jìn)氣口: 4個1/4NPS.

出氣口: 4個 1/4NPS.

采用PLC控制流量計，通過觸摸屏進(jìn)行控制

射頻電源

輸出功率: 5 -500W ± 1% .

射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% .

反射功率: 200W

匹配: 自動射頻接口: 50 Ω, N-type

噪音: <50 dB.

冷卻: 風(fēng)冷.

電源: AC 208-240V, 50/60Hz

防腐型真空計

輸入電源 24V，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器）

測量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.

數(shù)據(jù)顯示數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

接頭 1/8"NPT 接頭

產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

真空系統(tǒng)

采用TRP-12的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr

KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連.

管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr

關(guān)鍵詞：PID 質(zhì)量流量計流量計觸摸屏電壓轉(zhuǎn)換器

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