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伯東企業(yè)（上海）有限公司
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更新時間：2022-11-17 11:22:19瀏覽次數(shù)：388次
聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston, 通過使用分子傳感技術(shù), 提供半導(dǎo)體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷, 為半導(dǎo)體過程控制提供解決方案, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率, 在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝工具上加裝 Aston, 可在短時間內(nèi)實(shí)現(xiàn)晶圓更高產(chǎn)量!
實(shí)時過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝
半導(dǎo)體制造的分子分析原位平臺, 提供實(shí)時, 可操作的數(shù)據(jù)
采用等離子體電離源, 無燈絲, 更耐用
可與大批量生產(chǎn)工具集成
Aston™ 過程質(zhì)譜分析儀作為一個強(qiáng)大的平臺, 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供的控制水平, 包括光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.
Aston™ 過程質(zhì)譜分析儀技術(shù)參數(shù)
| 類型 | Impact-300 | Impact-300DP | Plasma-200 | Plasma-200DP | Plasma-300 | Plasma-300DP |
| 型號 | AST3007 | AST3006 | AST3005 | AST3004 | AST3003 | AST3002 |
| 質(zhì)量分離 | 四級桿 | |||||
| 真空系統(tǒng) | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 |
| 檢測器 | FC /SEM | |||||
| 質(zhì)量范圍 | 2-285 | 2-220 | 2-285 | |||
| 分辨率 | 0.8±0.2 | |||||
| 檢測限 | 0.1 PPM | |||||
| 工作溫度 | 15-35“℃ | |||||
| 功率 | 350 W | |||||
| 重量 | 15 kg | |||||
| 尺寸 | 299 x 218 x 331 LxWxH(mm) | 400 x 240 x 325 LxWxH(mm) | ||||
Atonarp Aston™ 應(yīng)用: 半導(dǎo)體工藝過程控制和優(yōu)化的重大發(fā)展, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率
Aston™ 是一款全新設(shè)計堅固耐用的緊湊型在線質(zhì)譜儀, 適用于半導(dǎo)體制造和工業(yè)過程控制應(yīng)用中氣體監(jiān)測和控制, 高定量精度和實(shí)時性與生產(chǎn)穩(wěn)健性和可靠性相結(jié)合, 例如半導(dǎo)體 dry pump 尾氣偵測分析, 實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)控,診斷.
CVD / ALD: 氧化物-氮化物過渡及成分分析
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching:識別跟蹤分子
若您需要進(jìn)一步的了解 Atonarp Aston™ 在線質(zhì)譜儀詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
上海伯東: 葉小姐 中國臺灣伯東: 王小姐
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