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南昌幸和工業(yè)技術(shù)有限公司
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D-100顯影設(shè)備
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- D-100 產(chǎn)品型號(hào)
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訪問次數(shù)：49更新時(shí)間：2022-05-01 11:27:52
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產(chǎn)品介紹
詳情介紹：
產(chǎn)品詳情
它是配備一個(gè)顯影劑和一個(gè)BJ清洗系統(tǒng)的顯影裝置。
顯影裝置“D-100"是一邊旋轉(zhuǎn)100mm×100mm的玻璃基板一邊進(jìn)行噴霧顯影的裝置。
配備1個(gè)顯影系統(tǒng)和1個(gè)BJ水洗系統(tǒng)，可通過觸摸屏進(jìn)行配方設(shè)置操作，并添加可選的顯影溫度控制槽，可用于廣泛的研究。
【主要規(guī)格】
○處理能力：100平方×0.7（1.1）噸玻璃基板1個(gè)
○工藝
→顯影劑：1系統(tǒng)帶電子冷卻器
→BJ：1系統(tǒng)2流體混合
○使用化學(xué)品：堿性顯影劑去離子洗滌水
產(chǎn)品規(guī)格
【規(guī)格】
○處理能力：100平方×0.7（1.1）噸玻璃基板1個(gè)
○處理
→顯影劑：1系統(tǒng)帶電子冷卻器
→BJ：1系統(tǒng)2流體混合
○使用的化學(xué)品：堿性顯影劑去離子洗滌水
○處理時(shí)間設(shè)置： 0.1秒單位
○基板轉(zhuǎn)速：0～1500rpm 誤差1%以下
○裝置尺寸：W1200×D1200×H1700mm以下
○控制方式：PC控制、觸摸屏操作
○吸盤：φ140白色特氟龍、槽型全表面吸附型
○ 罐：內(nèi)置在設(shè)備主體中，容量為 18 L，為抽屜式
○ 顯影劑溫度：20 至 30 度± 3 ℃
○ 實(shí)用： AC100V 30A 接線端子連接
○ 內(nèi)置-in 真空泵
○ 空氣：0.5 Mpa / cm2 或更大 工廠管道（泵直徑單獨(dú)商定）
○ 排氣：2 m2 / min 或更大 工廠排氣連接
○ 顯影劑廢液： 聚合罐回收 / 工廠廢液
○ 一般廢水：聚罐回收/工廠廢液
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