膜技術(shù)和蒸發(fā)結(jié)合工藝廠家供應(yīng) 原理

真空蒸發(fā)所得到的薄膜，一般都是多晶膜或無定形膜，經(jīng)歷成核和成膜兩個(gè)過程。蒸發(fā)的原子（或分子）碰撞到基片時(shí)，或是*附著在基片上，或是吸附后再蒸發(fā)而離開基片，其中有一部分直接從基片表面反射回去。粘附在基片表面的原子（或分子）由于熱運(yùn)動可沿表面移動，如碰上其他原子便積聚成團(tuán)。這種團(tuán)zui易于發(fā)生在基片表面應(yīng)力高的地方，或在晶體襯底的解理階梯上，因?yàn)檫@使吸附原子的自由能zui小。這就是成核過程。進(jìn)一步的原子（分子）淀積使上述島狀的團(tuán)（晶核）不斷擴(kuò)大，直至展延成連續(xù)的薄膜。因此，真空蒸發(fā)多晶薄膜的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)，與蒸發(fā)速度、襯底溫度有密切關(guān)系。一般說來，襯底溫度越低，蒸發(fā)速率越高，膜的晶粒越細(xì)越致密。

膜技術(shù)和蒸發(fā)結(jié)合工藝廠家供應(yīng) 方法

蒸發(fā)主要有電子束蒸發(fā)、多源蒸發(fā)、瞬時(shí)蒸發(fā)、激光蒸發(fā)和反應(yīng)蒸發(fā)等方法。①電子束蒸發(fā):在5～10千伏/厘米電場下使電子束加速，并通過電子透鏡使電子束聚焦，使坩堝中蒸發(fā)材料的溫度升高到蒸發(fā)溫度而蒸發(fā)。蒸發(fā)材料的熔融只限于表面的局部區(qū)域，使坩堝保持較低溫度，而且電子束可以通過磁場轉(zhuǎn)彎，從而把陰極雜質(zhì)蒸發(fā)擋住。這種蒸發(fā)方法不僅可以達(dá)到較高的溫度（約3000），而且污染很少。電子束加熱按聚焦方式分為:直槍式、E槍式和環(huán)形槍式。直槍式具有較高的功率密度，適合于蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料（如氧化鋁、氧化鋯、鉭、鉬等）。E槍式具有功率容量大 (約10千瓦)的特點(diǎn)，適于導(dǎo)熱性好的材料如鋁、金的蒸發(fā)，并可獲得高達(dá)1微米/分的蒸發(fā)速度,而且發(fā)射電子的燈絲不受蒸發(fā)材料的沾污。環(huán)形槍式雖然結(jié)構(gòu)簡單，但不具備上述特點(diǎn)，使用較少。這幾種加熱方式僅適用于單元素材料的蒸發(fā)。

 結(jié)構(gòu)

(1)電滲析器的構(gòu)造它由膜堆、極區(qū)和壓緊裝置三大部分構(gòu)成。

1)膜堆：其結(jié)構(gòu)單元包括陽膜、隔板、陰膜，一個(gè)結(jié)構(gòu)單元也叫一個(gè)膜對。一臺電滲析器由許多膜對組成，這些膜對總稱為膜堆。隔板常用l～2mm的硬聚氯乙烯板制成，板上開有配水孔、布水槽、流水道、集水槽和集水孔。隔板的作用是使兩層膜間形成水室，構(gòu)成流水通道，并起配水和集水的作用。

2)極區(qū)：極區(qū)的主要作用是給電滲析器供給直流電，將原水導(dǎo)入膜堆的配水孔，將淡水和濃水排出電滲析器，并通入和排出極水。極區(qū)由托板、電極、極框和彈性墊板組成。電極托板的作用是加固極板和安裝進(jìn)出水接管，常用厚的硬聚氯乙烯板制成。電極的作用是接通內(nèi)外電路，在電滲析器內(nèi)造成均勻的直流電場。陽極常用石墨、鉛、鐵絲涂釘?shù)炔牧?；陰極可用不銹鋼等材料制成。極框用來在極板和膜堆之間保持一定的距離，構(gòu)成極室，也是極水的通道。極框常用厚5～7mm的粗網(wǎng)多水道式塑料板制成。墊板起防止漏水和調(diào)整厚度不均的作用，常用橡膠或軟聚氯乙烯板制成。

3)壓緊裝置：其作用是把極區(qū)和膜堆組成不漏水的電滲析器整體?？刹捎脡喊搴吐菟ɡo，也可采用液壓壓緊。

(2) 電滲析器的組裝 電滲析器的基本組裝形式如圖17-4所示。在實(shí)踐電通常用“級”、“段”和“系列”等術(shù)語來區(qū)別各種組裝形式。電滲析器內(nèi)電極對的數(shù)目稱為“級”，凡是設(shè)置一對電極的叫做一級，兩對電極的叫二級，依此類推。電滲析器內(nèi)，進(jìn)水和出水方向*的膜堆部分稱為“一段”，凡是水流方向每改變一次， "段"的數(shù)目就增加l。