工控摘要：高頻發(fā)生器又稱射頻發(fā)生器。電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜/質(zhì)譜等分析中用來產(chǎn)生等離子體炬的裝置。它產(chǎn)生的高頻電流輸給電感線圈，以激勵石英炬管（置于線圈中）內(nèi)的氬氣，形成等離子體焰炬。分自激式和他激式（晶控型）振蕩器兩種類型。振蕩頻率在3～50兆赫，常為27.12兆赫和40.68兆赫，輸出功率在0.7～7千瓦，常用為1.0～2.0千瓦。
　　
　　自激式振蕩器線路簡單，振蕩、激勵、功率放大都由一個電子管同時完成，易與負(fù)載阻抗相匹配，易于點燃等離子體，但頻率穩(wěn)定度稍差。
　　
　　他激式振蕩器由晶體振蕩、倍頻、激勵、功率放大等部分組成，頻率穩(wěn)定性高，但對輸出阻抗的匹配要求較嚴(yán)，一般還配備阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)和穩(wěn)定輸出功率的定向耦合器等。
　　
　　一般要求高頻發(fā)生器具有穩(wěn)定的功率輸出，對測量系統(tǒng)無電學(xué)干擾、功率轉(zhuǎn)換效率高以及頻率盡可能穩(wěn)定等。