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- 擴散上下料機 產(chǎn)品型號
- 品牌
- 生產(chǎn)商 廠商性質(zhì)
- 東莞市 所在地
訪問次數(shù):847更新時間:2019-06-24 11:10:16
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應(yīng)用領(lǐng)域;
QT-100H-SYZD/QT-200H-SYZD應(yīng)用于將擴散后石英舟內(nèi)的背靠背硅片導(dǎo)出并兩兩分開,然后分別入塑料硅片承載盒中,同時將未擴散的硅片承載盒中取出,然后背靠背疊加放入石英舟內(nèi),每一槽放兩片,待擴散面朝外
設(shè)備特點:
1上下料一體化設(shè)計節(jié)約了工人搬運石英舟及塑料硅片承載盒的勞動強度,籃具在上下料的過程中緊湊相連,循環(huán)利用,提高
整機的工作效率。所有入籃及入石英舟結(jié)構(gòu)均采用耐磨耐高溫自潤滑結(jié)構(gòu)穩(wěn)定之材料導(dǎo)向。高精密叉子托附,依靠硅片自身重
力入籃或入舟。大大降低了碎片率以及對載具的高精度要求
2機器重要環(huán)節(jié)采用激光傳感器精確定為,一旦運轉(zhuǎn)偏離位置,機器自動補償矯正。既提高了穩(wěn)定性,又提升了速度
3真空吸盤采用精密耐高溫陶瓷結(jié)構(gòu),不變形、無污染、嬌片叉子采用高精度復(fù)合材料。