設(shè)備名稱：硅片熱處理回轉(zhuǎn)爐

設(shè)備型號：BXG-36-11

爐膽尺寸：φ219*3000mm（直徑*長度）

爐膽材質(zhì)：SUS2520高溫不銹鋼

燒結(jié)時間：可根據(jù)產(chǎn)品工藝調(diào)節(jié)

使用氣氛：空氣中燒結(jié)

額定功率：36KW

電壓：380V

相數(shù)：三相

額定溫度：1100℃

控制精度：±1℃

爐膛及保溫材料：氧化鋁陶瓷纖維

控制方式：可控硅移相調(diào)壓

報警保護：超溫報警保護

溫控儀表：定值溫度表

熱電偶：K型

旋轉(zhuǎn)速度：1-6/min（變頻調(diào)節(jié)）

爐殼整體材質(zhì)：A3鋼

加熱溫區(qū)：分成4個溫區(qū)，4個溫區(qū)單獨控溫

加熱元件：硅碳棒

加熱方式：上下加熱

控制系統(tǒng)：溫度控制采用PID自動控制，自動升溫調(diào)節(jié)，PID自整定，過零觸發(fā)。

執(zhí)行元件可控硅，具有無機械觸點，無噪聲、壽命長，對電網(wǎng)無干擾等優(yōu)點，操作集中觀察直觀。

硅片熱處理回轉(zhuǎn)爐

注：硅片熱處理回轉(zhuǎn)爐可根據(jù)客戶要求設(shè)計定作，詳情請