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          Attolight CL-SEM系統(tǒng) Santis 300 中文樣本

          閱讀:85發(fā)布時間:2023-03-13

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          S?ntis 300系統(tǒng)設計用于150、200和300 mm晶圓的全自動缺陷檢測。Attolight的定量CL-SEM提供“不折不扣"的大視場快速掃描,同時采集SEM圖像、高光譜CL圖和光譜。較小直徑的晶圓或其他形狀的襯底通過手動加載到中間300 mm的夾持器上,隨后由系統(tǒng)自動處理。


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