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詳細(xì)介紹
伯努利機械手指（接觸式）針對存在翹曲的晶圓，以及減薄晶圓設(shè)計的具有高性價比特點的伯努利原理機械手指
可以配套JEL所有類型的大氣搬運機械手臂使用可用于6、8、12寸晶圓的非接觸式End-Effector，非常適合減薄晶圓，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體后道工序設(shè)備
通過使用晶圓樣品進(jìn)行實際的驗證傳輸測試，可以按照客戶的需要，針對不同尺寸，翹曲量，晶圓厚度的任意形狀的晶圓進(jìn)行機械手指的定制設(shè)計
伯努利機械手指（接觸式）
- 利用伯努利原理的氣流壓力差吸附晶圓
- 利用橡膠墊和晶圓之間的摩擦力，防止晶圓在傳輸過程中可能發(fā)生的位置偏移
- 晶圓表面和機械手指的橡膠墊發(fā)生接觸，能夠同時對應(yīng)不同規(guī)格的晶圓（※特殊情況的組合下，存在無法實現(xiàn)不同尺寸晶圓兼顧的情況），相對于非接觸式機械手指，接觸式機械手指的厚度可以做到更薄
- 相對于真空吸附方式的手指，伯努利原理機械手指的吸附力會分散到整個晶圓表面，更適合用于減薄晶圓的傳輸
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