2軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運(yùn)，通過優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化。可在工作臺(tái)上使用的小型機(jī)械手臂。

2軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂

• 同SSCR3115N-150-PM兼容，連桿式手臂，可以增加Z軸模塊
• 可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)0.1kgf以下（只包含被搬運(yùn)物）
• 配備動(dòng)作監(jiān)視器
• 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
• 全軸使用2相步進(jìn)電機(jī)
• S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
• 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式
• 手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
• 可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)的手指

  應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

  檢測(cè)設(shè)備