儲(chǔ)片盒內(nèi)晶圓自動(dòng)搬運(yùn)傳輸平臺(tái)能夠安全，準(zhǔn)確地搬運(yùn)儲(chǔ)片盒內(nèi)的減薄晶圓。
搭載儲(chǔ)片盒自動(dòng)開蓋機(jī)構(gòu)

儲(chǔ)片盒內(nèi)晶圓自動(dòng)搬運(yùn)傳輸平臺(tái)

• 自動(dòng)識(shí)別儲(chǔ)片盒內(nèi)晶圓和墊紙（層間紙）
• 一臺(tái)設(shè)備可以完成打包和拆包的功能
• 儲(chǔ)片盒和片盒間晶圓的無(wú)損傷自動(dòng)搬運(yùn)
• 可選裝針對(duì)減薄晶圓的伯努利手指
• 可自動(dòng)識(shí)別晶圓高度
• 可滿足客戶對(duì)多個(gè)片盒及不同尺寸晶圓傳輸?shù)男枨?/li>
• 可對(duì)應(yīng)Achilles Corporation公司生產(chǎn)的儲(chǔ)片盒
• 配備2套高效過濾裝置(HEPA規(guī)格),確保設(shè)備內(nèi)部潔凈度
• 配備顏色視覺傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片(片間墊紙)

  應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

  半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)線

  規(guī)格

  可對(duì)應(yīng)片盒的種類	200 mm 儲(chǔ)片盒, 200 mm 片盒
  被搬運(yùn)物	200 mm 硅晶圓, 200 mm 儲(chǔ)片盒內(nèi)墊片(片間墊片)
  潔凈度	ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
  外形尺寸	1600 (寬) x 1305 (深) x 1800 (高)
  廠務(wù)	電源：AC200V±10%  潔凈氣源：0.5 MPa 150 NL/min 以上
  重量	700 kg