SORTER SYSTEM傳輸平臺可實(shí)現(xiàn)400片/小時產(chǎn)率的高性能晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的高性能大氣機(jī)械手臂和校準(zhǔn)器；

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

半導(dǎo)體生產(chǎn)線

SORTER SYSTEM傳輸平臺

• 依據(jù)SEMI Standard標(biāo)準(zhǔn)(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
• 校準(zhǔn)器設(shè)有緩沖器功能, 使晶圓的更換成為可能, 實(shí)現(xiàn)了高吞吐量 (400片/h)
• 搬運(yùn)機(jī)械手采用路徑規(guī)劃方式, 無行走軸, 支持并列配置盒
• 搬運(yùn)機(jī)械手進(jìn)行區(qū)域控制, 能夠順暢而快速地進(jìn)行搬運(yùn)
• 配備ID閱讀器, 可以進(jìn)行晶圓的ID讀取 (表里支持為選購件)

  規(guī)格

  對應(yīng)片盒	300 mm FOUP（25片）
  	SEMI E47.1，E62標(biāo)準(zhǔn)品
  對應(yīng)晶圓	300 mm 硅片（厚度：775 µm）
  Throughput*	400片/h
  潔凈度	ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（FFU使用）
  外形尺寸*	W1756xD1200xH1901
  重量*	大約 600 kg
  廠務(wù)	電源：AC200V±15% 20A
  	干燥空氣：0.7 MPa to 0.4 MPa
  	真空：優(yōu)于-60 kPa