SORTER SYSTEM傳輸平臺系統(tǒng)可實現(xiàn)300片/小時產(chǎn)率的高性能晶圓搬運系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計生產(chǎn)的高性能大氣機械手臂和校準(zhǔn)器

SORTER SYSTEM傳輸平臺系統(tǒng)

• 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）
• Aligner具有Buffer功能，能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的更換動作，提高了設(shè)備的Throughput
• 配備ID Reader，能夠讀取晶圓的ID信息（晶圓正反面對應(yīng)為選配）
• 上述標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格之外，以下規(guī)格的產(chǎn)品也可以定制
      1. 4 FOUP對向擺放（Throughput為400片/h）
      2. 4 FOUP的inline類型（Throughput為600片/h）

  應(yīng)用設(shè)備實例

  半導(dǎo)體生產(chǎn)線

  規(guī)格

  對應(yīng)片盒	300 mm FOUP（25片）
  	SEMI E47.1，E62標(biāo)準(zhǔn)品
  對應(yīng)晶圓	300 mm 硅片（厚度775 µm）
  Throughput*	300片/h
  潔凈度	ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（FFU使用）
  外形尺寸*	W1250xD2500xH1900
  重量*	大約 800 kg
  廠務(wù)	電源：AC200V±10% 2kVA
  	干燥空氣：0.5MPa±10%
  	真空：優(yōu)于-53 kPa