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詳細(xì)介紹
SAL3481晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)?？捎糜?～8寸晶圓的搬運(yùn)，體積小，性價(jià)比高。
- 高速，高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊，缺口
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 相對舊型號SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
SAL3481晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例
PE-CVD設(shè)備；AOI設(shè)備
規(guī)格
| 被搬運(yùn)物 | SEMI規(guī)格 100～200 mm硅片 | ||
|---|---|---|---|
| 位置確定所需時(shí)間 | 定位晶圓中心：3 sec | ||
| 位置精度 | 晶圓中心：±0.1 mm以內(nèi) 晶圓缺邊（缺口）：±0.1度以內(nèi) | ||
| 傳感器 | 可視光半導(dǎo)體激光傳感器 | ||
| 潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下） | ||
| 動(dòng)力 | 3軸使用2相步進(jìn)電機(jī)，電機(jī)控制器和脈沖發(fā)生器安裝在本體內(nèi)部 | ||
| 廠務(wù) | 電源：DC24V±10% 3A 正壓：60 SLM, 0.01-0.3 MPa | ||
- 高速，高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊，缺口
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 相對舊型號SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
- 高速，高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊，缺口
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 相對舊型號SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
- 高速，高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊，缺口
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 相對舊型號SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
- 高速，高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊，缺口
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 相對舊型號SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
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