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詳細(xì)介紹
SAL3261GR晶圓對(duì)應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)?？捎糜贚ED行業(yè)藍(lán)寶石晶圓的搬運(yùn)。
- 高速，高精度地定位小尺寸晶圓（透明，半透明，硅片）的中心以及缺邊
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 相對(duì)舊型號(hào)SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例
MOCVD設(shè)備；AOI設(shè)備
SAL3261GR晶圓對(duì)應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器
規(guī)格
| 被搬運(yùn)物 | SEMI規(guī)格 2, 3寸 100～150 mm硅片以及透明晶圓 |
|---|---|
| *缺邊 | |
| 位置確定所需時(shí)間 | 定位晶圓中心：3 sec |
| 位置精度 | 晶圓中心：±0.2mm以內(nèi) 晶圓缺邊：±0.2度以內(nèi) |
| 傳感器 | 可視光半導(dǎo)體激光傳感器 |
| 晶圓尺寸切換 | 命令控制方式或者通信方式 |
| 潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下) |
| 動(dòng)力 | 3軸使用2相步進(jìn)電機(jī), 電機(jī)控制器和脈沖發(fā)生器安裝在本體內(nèi)部 |
| 廠務(wù) | 電源：DC24V±10% 3A 真空：優(yōu)于-53 kPa |
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