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詳細(xì)介紹
SAL3000HV系列晶圓校準(zhǔn)器適用于2, 3寸, 100-300 mm晶圓, 可適用于多種晶圓的新型Aligner。全自動(dòng)調(diào)整功能軟件【JEL ALIGN TOOL】能夠完成多種不同用途晶圓的校準(zhǔn)功能。
使用了新技術(shù)的可用于多種材質(zhì)晶圓的新產(chǎn)品
- 可適用于硅片，帶BG膠帶（乳白色）的硅片，透明，半透明晶圓等不同材質(zhì)晶圓的位置校準(zhǔn)
- 使用自主研發(fā)的圖像識(shí)別傳感器，采用了控制器和電機(jī)驅(qū)動(dòng)器集成到設(shè)備本體內(nèi)部的一體化設(shè)計(jì)
- 可以根據(jù)晶圓尺寸，材質(zhì)更改Spindle的直徑，形狀和材質(zhì)可以使用伯努利吸附方式
- 控制方式：串口RS232C或者并口光學(xué)I/O口
- 不符合SEMI規(guī)格的缺口，缺邊形狀也可以提供定制設(shè)計(jì)
- 能夠?yàn)镾pindle增加Z軸以滿足對(duì)晶圓進(jìn)行升降的需求
SAL3000HV系列晶圓校準(zhǔn)器
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例
PE-CVD設(shè)備；AOI設(shè)備
規(guī)格
| 被搬運(yùn)物 | SEMI規(guī)格 晶圓(透明, 半透明, 硅片晶圓) (其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀，材質(zhì)為客戶提供靈活的定制設(shè)計(jì)) 2, 3寸, 100-150 mm (SAL3262HV) 100-200 mm (SAL3482HV) 200-300 mm (SAL38C3HV) | |
|---|---|---|
| 位置精度 | 晶圓中心：±0.1 mm以內(nèi) 晶圓缺邊（缺口）：±0.1度以內(nèi) | |
| 位置確定所需時(shí)間 | 3秒（不包括晶圓的取放時(shí)間） | |
| 傳感器 | LED燈照明+圖像識(shí)別傳感器的方式對(duì)晶圓邊緣進(jìn)行檢測(cè) | |
| 位置校正范圍 | 半徑4mm以內(nèi) | |
| 晶圓吸附方式 | 真空吸附式 | |
| 潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2(驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下) | |
| 質(zhì)量 | 大約10 kg | |
| 廠務(wù) | 電源：DC24V±10% 3A 真空：-53 kPa以上 | |
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