? Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
? 定位精度達(dá)（直線誤差修正后）：±1µm（Travel≤200mm）
? 穩(wěn)定且優(yōu)良的軸系提供了平滑運動，經(jīng)算法優(yōu)化可以獲得小的動態(tài)跟隨誤差
? 線性表現(xiàn)優(yōu)良的光柵反饋系統(tǒng)，可以獲得point-to-point位置精度

? 標(biāo)準(zhǔn)的模塊化設(shè)計，靈活的單軸/多軸解決方案
? 整體密封結(jié)構(gòu)，輕量化、高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計，低成本，高性能
HPL-170LM直線電機平臺采用無鐵芯直線電機驅(qū)動，平臺行程從100至600mm。該平臺擁有優(yōu)良的設(shè)計，嚴(yán)苛的軸系裝配工藝，但成本低，這使得HPL-170LM直線電機平臺得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體晶圓檢測、微電子組件測試、取放、DNA測序、激光加工等領(lǐng)域。