科研團(tuán)隊(duì)利用3D視覺測(cè)量技術(shù)助力國產(chǎn)芯片外觀檢測(cè)

2022-03-17 10:30:50來源：合肥物質(zhì)科學(xué)研究院關(guān)鍵詞：3D視覺測(cè)量國產(chǎn)芯片芯片閱讀量：23306

導(dǎo)讀：中科院合肥研究院智能所仿生智能中心在自主開發(fā)的軟件平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)了3D視覺測(cè)量技術(shù)、視覺缺陷檢測(cè)等技術(shù)的融合，解決了國產(chǎn)GPU——凌久GP102的外觀檢測(cè)問題。目前首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的BGA芯片外觀檢測(cè)設(shè)備已正式交付并通過驗(yàn)收。

　　近期，中科院合肥研究院智能所仿生智能中心在自主開發(fā)的軟件平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)了3D視覺測(cè)量技術(shù)、視覺缺陷檢測(cè)等技術(shù)的融合，解決了國產(chǎn)GPU——凌久GP102的外觀檢測(cè)問題。目前首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的BGA芯片外觀檢測(cè)設(shè)備已正式交付并通過驗(yàn)收。

　　為滿足芯片出廠質(zhì)量控制和芯片可追溯性需求，科研團(tuán)隊(duì)經(jīng)過半年的產(chǎn)品研發(fā)和測(cè)試工作，成功研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的BGA芯片外觀檢測(cè)設(shè)備A3DOI-BGA，該設(shè)備可批量采集芯片的三維圖像數(shù)據(jù)、平面RGB圖像數(shù)據(jù)、激光點(diǎn)云數(shù)據(jù)等，結(jié)合傳統(tǒng)及人工智能算法，實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度、缺陷識(shí)別率等各項(xiàng)性能指標(biāo)的完全達(dá)標(biāo)，部分指標(biāo)可超越相關(guān)進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備。該設(shè)備的核心傳感器均來自國產(chǎn)，具備微米級(jí)別超高測(cè)量精度，可兼容多種BGA封裝芯片檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)芯片成品3D形貌測(cè)量。

　　A3DOI-BGA的成功交付標(biāo)志著團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的3D視覺測(cè)量技術(shù)正式走出實(shí)驗(yàn)室，為國內(nèi)的芯片制造用戶提供專業(yè)、高精度、可靠的視覺技術(shù)服務(wù)和成套檢測(cè)設(shè)備。

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