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          中量程氣體質量控制器(數(shù)顯)

          參考價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 公司名稱午騰測控儀表(上海)有限公司
          • 品       牌
          • 型       號
          • 所  在  地上海
          • 廠商性質其他
          • 更新時間2024/6/3 12:07:34
          • 訪問次數(shù)67
          產(chǎn)品標簽:

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          午騰測控儀表(上海)有限公司作為傳統(tǒng)工業(yè)產(chǎn)品制造及智能控制系統(tǒng)的銷售,集生產(chǎn)、加工、銷售為一體的企業(yè)。主要從事齒輪計量泵、齒輪流量計、氣體液體質量流量計控制器、科里奧利質量流量計、電磁流量計、渦街渦輪流量計等經(jīng)營銷售。午騰測控儀表(上海)有限公司的誠信、實力和產(chǎn)品質量獲得業(yè)界的認可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導和業(yè)務洽談。
          小流量控制器
          一、用途與特點質量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制
          中量程氣體質量控制器(數(shù)顯) 產(chǎn)品信息

            一、用途與特點

            質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

            二、工作原理

            CF系列氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。


            產(chǎn)品詳情介紹





            ? 主要技術指標


            技術指標

            中量程氣體質量流量計(模擬型)

            中量程氣體質量控制器(模擬型)

            量程范圍

            30SLM~100SLM

            100SLM~200SLM

            30SLM~100SLM

            100SLM~200SLM

            量程比

            100:1

            50:1

            精度

            ±1.0%F.S

            線性

            ±0.5~1.5%F.S

            重復精度

            ±0.2%F.S

            響應時間

            <1.5S

            <2S

            模擬量輸出

            0-5V 或4-20mA

            數(shù)字量輸出

            RS232/485 MODBUS協(xié)議

            供電

            ±15VDC 或24VDC

            工作壓力

            工作壓降<0.01Mpa

            工作壓差:0.01~0.5MPa

            耐壓

            3MPa 可定制10MPa

            漏率

            1×10-8SCCSHe

            工作溫度

            0~50℃

            底座材質

            316L不銹鋼

            密封材質

            氟橡膠、丁晴橡膠、氯丁橡膠、聚四氟乙烯

            接頭

            可選配卡套、快插、寶塔接頭


            注意:

            質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定.

            質量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)

            標準狀態(tài)規(guī)定為: 溫度-----273.15K (0℃);

            氣壓-----101325 Pa (760mm Hg)

            F.S (Full Scale); 滿量程值

            ? 外型尺寸







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