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          DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

          參考價(jià)面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱(chēng)鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
          • 品       牌
          • 型       號(hào)
          • 所  在  地鄭州市
          • 廠商性質(zhì)其他
          • 更新時(shí)間2024/5/3 11:30:40
          • 訪問(wèn)次數(shù)91
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          鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開(kāi)發(fā)、制造、經(jīng)營(yíng)為一體的材料創(chuàng)新型企業(yè),如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國(guó)內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室 及*校,科探儀器已經(jīng)成為老師 同學(xué)歡迎和信任的品牌之一公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)社會(huì)為宗旨,積極設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)新型材料制備設(shè)備,奉獻(xiàn)于教育和科學(xué),經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累,擁有熱工,制造,控制相關(guān)技術(shù)10余項(xiàng),為化學(xué),物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過(guò)和院校老師 同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,形成了有效的信息,技術(shù)交流平臺(tái),為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強(qiáng)有力的支持!。目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐、CVD供氣系統(tǒng)、等離子清洗機(jī)、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等,主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷(xiāo)于各大院校,及材料研究所。公司與國(guó)內(nèi)高校,科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室,相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力,科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。
          溫度控制儀
          DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器 DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小,精度高,響應(yīng)速度快,壓力不敏感的特點(diǎn),產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。
          DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器 產(chǎn)品信息

          DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

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          DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小,精度高,響應(yīng)速度快,壓力不敏感的特點(diǎn),產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。

          DS300質(zhì)量流量控制器氣體配比器

          • 控制精度高,精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
          • 響應(yīng)速度快,響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec。
          • 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù),使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性,能夠適用較大的氣源壓力波動(dòng)。
          • DS300采用有效的機(jī)械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題,實(shí)現(xiàn)孔徑相對(duì)較小(孔徑<1mm)、深徑比相對(duì)較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理,*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求。

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          技術(shù)參數(shù)

          DS300C

          類(lèi)型

          DS300C

          閥類(lèi)型

          常閉

          流量規(guī)格(N2)

          (0~30,50,100,200,300,500)  SCCM
          (0~1,2,3,5,10)            SLM

          準(zhǔn)確度

          ±1% S.P. (≥10% F.S.)       
          ±1% F.S. (<10% F.S.)       

          線性

          ±0.5% F.S.

          重復(fù)精度

          ±0.2% F.S.

          響應(yīng)時(shí)間

          ≤ 0.5sec            

          進(jìn)口壓力

          240~450KPa 流量規(guī)格≤5SLM
          350~450KPa  流量規(guī)格>5SLM

          出口壓力

          ≤1.2KPa    流量規(guī)格≤5SLM
          ≤13.3KPa  流量規(guī)格>5SLM

          溫度系數(shù)

          零點(diǎn):≤±0.02% F.S./℃;
          調(diào)節(jié)時(shí):≤±0.1% F.S./℃

          耐壓

          3 MPa

          漏率

          1×10-11 Pa·m3 / sec He

          密封材料

          金屬密封

          工作壓力

          0.45MPa

          工作環(huán)境溫度

          (10~45)℃

          輸入信號(hào)

          數(shù)字:RS485 或 DeviceNet
          模擬:(0~5)VDC

          輸出信號(hào)

          數(shù)字:RS485 或 DeviceNet  
          模擬:(0~5)VDC

          零漂

          在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)<0.6%F.S./年

          電源

          ±8~±16 VDC (雙極) 或 +14~+28 VDC (單極)

          表面化學(xué)成分

          Cr/Fe比例≥2.0;
          CrO 厚度≥20 (埃)

          表面粗糙度

          Ra  5μinch

          標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

          VCR1/4陽(yáng)接頭;
          1.125″C型密封接頭;
          1.125″W型密封接頭;
          Compression Fittingφ6

          電源接頭形式

          D型9針陽(yáng)接頭;
          D型15針陽(yáng)接頭;
          DeviceNet接頭

          重量

          1.2Kg

           


          關(guān)鍵詞:流量控制器 控制器
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