產(chǎn)品簡介

　　ST400型三維表面輪廓儀是一款多功能的三維形貌儀，采用的白光共聚焦技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，該儀器可用于測量大尺寸樣品，并具有多種選項(xiàng)，包含360°旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，原子力顯微鏡模塊，光學(xué)顯微鏡，特征區(qū)域定位等多種功能模塊。

　　產(chǎn)品原理：采用白光共聚焦色差技術(shù)

　　- 利用白光點(diǎn)光源，光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長的光分開后入射到被測樣品上。

　　- 位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點(diǎn)漫反射后的光。

　　- 根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理，探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點(diǎn)反射回來的特定波長的光，從而得到這個(gè)點(diǎn)距離透鏡的垂直距離。

　　- 再通過點(diǎn)掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo)，即X-Z坐標(biāo)

　　- 最后以S路徑獲得物體每個(gè)點(diǎn)的三維X-Y-Z坐標(biāo)

　　- 最后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析。

　　- 軟件能夠自動(dòng)獲取用戶關(guān)心的表面形貌參數(shù)。

　　產(chǎn)品特性：

　　- 采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率

　　- 測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高

　　- 測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋 光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、     光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；

　　- 尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面

　　- 不受環(huán)境光的影響

　　- 測量簡單，樣品無需特殊處理

　　- Z方向測量范圍大：為27mm

　　主要功能：

　　-  可創(chuàng)建任意區(qū)域的2D曲線圖或2D等高線分布圖；

　　-  可創(chuàng)建任意區(qū)域的3D圖像；

　　-  自動(dòng)得到樣品的一維線粗糙度參數(shù)（Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku）；

　　-  自動(dòng)得到樣品的二維面粗糙度（Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku）；

　　- 可得到樣品的平整度，波紋度等參數(shù)；

　　- 自動(dòng)校準(zhǔn)功能，例如粗糙度，一般情況下對于曲面樣品，首先展平，然后自動(dòng)給出粗糙度的參數(shù)；

　　- 具有尺寸測量：長度，寬度，角度，深度,臺(tái)階高度；

　　- 可測孔洞磨損面積，磨損體積等參數(shù)；

　　- 具有功率譜密度測試功能；

　　-  具有分形統(tǒng)計(jì)功能；

　　......

　　主要技術(shù)參數(shù):

　　- XY全自動(dòng)掃描范圍：150×150（mm）

　　- XY掃描步長：0.1μm

　　- 掃描速度：20mm/s

　　- Z方向測量范圍：27mm

　　- Z方向測量分辨率：2nm

　　產(chǎn)品應(yīng)用：MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能、摩擦磨損、汽車、腐蝕、砂紙、巖石等。